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ISDC黑体面阵源+黑体系统+黑体辐射源
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相关仪表
Infraredsystems红外辐射前置放大器
固润光电LA-150 DC手动探针台
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TeraTune可调太赫兹波源
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产品系列
产品描述
主动隔振台+HERZ
主动隔振台,主动减振台,主动防震台,主动式振系统。为各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜(AFM)、横向力显微镜。白光干涉仪,光刻机,微纳米结构和加工仪器!超低频隔震台、防震台、减震台、除震台!
产品特点
主动隔振频率 :1Hz - 200Hz
被动隔振频率>200Hz
5-20ms的响应时间
安装简单,容易使用
稳定性高,能无故障连续使用多年
紧凑、模块化的多功能设计
多种规格尺寸的面板支持各种研究及应用
SEM TEM
UHV-SPM 光刻
光谱测量 高精度测量
其他高精密仪器
系统主动检测输入振动并动态消除
六个空间方向的自由隔振
系统内部反馈回路抑制所有机械共振
低频隔振性能优秀
无低频共振、无空气要求
产品应用
性能优势
技术参数