高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。

采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。

有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。

主要特点

• 高分辨率(250 x 250)

• 大孔径(8，0 mm x 8，0 mm)

• 覆盖UV光谱

• 高灵敏度(0，5 nm)

• 优化信噪比

• 适用于光学测量

参数