PS4L 全自动探针台

SemiProbe是美国一家**的专业探针台研发与制造公司，拥有多项**技术，提供完整的所有探针测试的产品与解决方案。其产品包括全自动，半自动，手动探针台，MEMS测试探针台，双面测试，超低温，高真空探针台等等。SemiProbe 设计制造创新性模组化探测检测系统，客户遍及世界各地，其中包括大专院校、政府科研实验室、各类半导体制造公司、涉及微机械、纳米技术、光电技术、光伏技术等领域，为科研以及制造提供经济高效、实用、扩展性强的探测系统。同时SemiProbe还为用户提供强有力的技术支持，可针对用户的具体应用需求，定制相对应的产品和技术方案。

我们有可以解决您所面临问题的一套**的方案，PS4L 全自动探针台是基于SemiProbe可适应性机构**研发的一套系统，与传统检测系统不同，PS4L 全自动探针台所有的基础组件：基座、平台、夹具、显微镜装置、显微镜移动、光学部件、操纵装置等，都是可以更换的。这些特征使得PS4L 全自动探针台可适应不同应用需求，并且成为节省经费的**选择。这种独特的设计能够准确满足客户的要求，更重要的是，PS4L系统能够进行现场升级，以适应环境测试条件的改变。PS4L系统的设计理念，与传统检测设备相比，能够让客户节约更多时间，更多成本。

凭借60年的实践经验，美国品牌SemiProbe可以迅速为您提供各种定制化方案，以解决不同的难题。我们的宗旨就是让客户使用*少的资金获得**的技术、更及时的响应市场需求。

SemiProbe产品的独特优点有：

1.SemiProbe****技术的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级，且升级可在客户现场进行，机台不需返厂。其中PS4L系列产品，可以在PS4L基础平台上，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者由6''升级为8''，8''升级为12''，增加密闭测试仓，增加高低温等等。这些独特的优点，目前在业界独此一家。

2.SemiProbe的产品，全部都在美国本土设计制造。

3.SemiProbe的另外一个优点是直流探针座和RF探针座通用，用户只要一种探针座，换上直流或RF探针，即可做不同的测试，既方便又节省成本。目前业界其他公司的产品，多数直流探针座和RF探针座是不一样的，并且价格昂贵，无法通用。其超高精度的亚微米级探针座，保证了高端精密测试的需求。

产品优势：

1.可满足**18英寸的晶圆基底的测试要求，并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。

2.主要应用领域：器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域。

3.可做直流和微波测试。

4.系统可在客户现场升级。

5.可增加高低温及屏蔽系统

6.手动探针测试方式，扎针对准方式灵活。

7.可方便搭载loadpull， 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备。

8.可搭载各种规格探卡。

9.主要部件可依据实际要求定制。

PS4L 全自动系统

1.可选尺寸：100 mm (FA-4)， 150 mm (FA-6)， 200 mm (FA-8)， 300 mm (FA-12)

2.模块化结构设计的硬件和软件

3.所有的基础组件：平台，夹盘，光学组件和终端操纵装置都是可以更换的。

4.可现场进行升级

5.便携式MHU—可移除，移动，对接到任何一台PS4L半自动系统从而添加自动化功能

6.可选各种各样全面化的光学附件和升级装置

PS4L 全自动探针系统

SemiProbe的PS4L 全自动探针系统是模块化结构设计*明显和*灵活的自动探针台。它采用了SemiProbe****技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供了****的灵活性和大大地为客户节省了资金费用。PS4L自动探针系统可满足客户对精准的规格参数的要求。

主要特征：

1.同一系统可符合多种应用需求—— DC，高频率，OPTO，MEMS以及更多

2.有三种操作模式可选：全自动( 24/7)、半自动和手动

生产和分析性能

3.可处理2、3、4和6英寸的晶圆和基底

可现场升级更大的尺寸

4.可处理die，晶圆和帧上晶圆，有两个终端操纵装置

5.可处理薄和弯曲的晶圆- 50 um 到70 um

硅和III-V族化合物

6.可选多个盒子，一般是两个

7.灵活的PILOT控制软件包- 自动晶圆和芯片对准，Z高度探测和分析，晶圆形貌，界面和更多。

8.多种选择-热夹盘，光学部件，CCTV系统，条形码阅读器，OCR，操纵器，探针卡和更多。

9.模块化设计-PS4L探测系统具有****的灵活性

技术参数

备注：规格参数的数值取决于探针系统的配置和配件要求