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产品简介
Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪
MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 ！
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si， aSi，polySi)、硬涂层(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (聚对二甲苯，PMMA，聚酰胺)， 薄金属薄膜等。
厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。
映射选项包括:
1.XY电动平台(150，200和300毫米游程)
2.固体19 x19"铝合金平台
3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统
4.调节器
5.支持软件(映射配方，等等)。
定位精度 | < 2 μm |
分辨率 | < 0.5 μm |
驱动 | 步进电机 |
调节器 | 一体化平台 |
通讯 | 串口(RS232) |
尺寸 | 19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”阶段) |
重量 | 12 kg |
硬件选项 | |
-150XYM | 6”x6” (150x150mm) XY电动平台 |
-200XYM | 8 x8”(200x200mm) XY电动平台 |
-300XYM | 12x12”(300x300mm) XY电动平台 |
-VAC | 真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔) |
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